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MEMS繼電器中0.25mm銅質(zhì)彈性件要求2μm形變精度。走心機(jī)使用0.01mm超微粒鎢鋼切槽刀,在30000rpm轉(zhuǎn)速下以0.0003mm/rev進(jìn)給分120次切削。關(guān)鍵創(chuàng)新在于激光干涉儀實(shí)時(shí)測量切削力并反饋至控制系統(tǒng),自動調(diào)整參數(shù)保持切削力恒定在0.15±0.02N范圍,成功將彈性系數(shù)波動控制在±3%內(nèi)。
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